紫(zi)外激光打標機f-theta鏡(jing)設計原理的描述

目前市場上的紫外激光打標機有兩(liang)種激光(guang)(guang)掃(sao)(sao)(sao)(sao)描(miao)的方(fang)(fang)式，分(fen)別是(shi)物(wu)鏡后(hou)掃(sao)(sao)(sao)(sao)描(miao)和物(wu)鏡前掃(sao)(sao)(sao)(sao)描(miao)。這兩(liang)種激光(guang)(guang)掃(sao)(sao)(sao)(sao)描(miao)方(fang)(fang)式對操(cao)作(zuo)的要求(qiu)不一樣，一般來講，物(wu)鏡后(hou)掃(sao)(sao)(sao)(sao)描(miao)的方(fang)(fang)式操(cao)作(zuo)更(geng)加簡單一些。當激光(guang)(guang)掃(sao)(sao)(sao)(sao)描(miao)方(fang)(fang)式不同時(shi)，紫外激光(guang)(guang)打標機的聚焦物(wu)鏡和反射(she)鏡之間的位置是(shi)不一樣的。今天我們(men)就簡單了解下(xia)物(wu)鏡前掃(sao)(sao)(sao)(sao)描(miao)方(fang)(fang)式下(xia)，設計(ji)f-theta鏡需要遵循什么原(yuan)則。

紫外激光(guang)(guang)(guang)打標機(ji)一般使用X方向振鏡(jing)(jing)和(he)(he)Y方向振鏡(jing)(jing)完成掃(sao)描，激光(guang)(guang)(guang)發生器出(chu)射光(guang)(guang)(guang)束聚焦(jiao)(jiao)在焦(jiao)(jiao)平面上。若將(jiang)視場光(guang)(guang)(guang)線(xian)和(he)(he)光(guang)(guang)(guang)軸之間的(de)(de)(de)(de)夾角(jiao)設為θ，打標設備光(guang)(guang)(guang)學系(xi)統的(de)(de)(de)(de)焦(jiao)(jiao)距(ju)為F時，就可(ke)以(yi)(yi)計(ji)算(suan)出(chu)像(xiang)高H，計(ji)算(suan)公(gong)式(shi)是(shi)H=F*tanθ。因為紫外激光(guang)(guang)(guang)打標機(ji)的(de)(de)(de)(de)激光(guang)(guang)(guang)掃(sao)角(jiao)度(du)是(shi)均勻(yun)的(de)(de)(de)(de)，所以(yi)(yi)這個(ge)公(gong)式(shi)是(shi)可(ke)運用性高。通過(guo)該(gai)(gai)公(gong)式(shi)，我(wo)們(men)可(ke)以(yi)(yi)了解到(dao)隨著θ值(zhi)的(de)(de)(de)(de)不(bu)斷(duan)變大(da)，掃(sao)描線(xian)速度(du)越大(da)。因此，當f-theta鏡(jing)(jing)的(de)(de)(de)(de)焦(jiao)(jiao)距(ju)保持一定時，可(ke)以(yi)(yi)利用鏡(jing)(jing)頭的(de)(de)(de)(de)負畸(ji)變讓像(xiang)高和(he)(he)偏轉角(jiao)度(du)成正比。實際的(de)(de)(de)(de)像(xiang)高和(he)(he)理(li)想像(xiang)高之間會存在一定的(de)(de)(de)(de)偏差(cha)(cha)，紫外激光(guang)(guang)(guang)打標機(ji)f-theta鏡(jing)(jing)在設計(ji)的(de)(de)(de)(de)時候，應該(gai)(gai)遵循該(gai)(gai)偏差(cha)(cha)越低越好(hao)。

當紫(zi)外激光(guang)(guang)(guang)打(da)標機設計(ji)f-theta鏡時，實際(ji)像(xiang)(xiang)高(gao)和理想像(xiang)(xiang)高(gao)偏差越小，f-theta鏡的線性度(du)(du)就(jiu)會越好。通俗(su)地講(jiang)，就(jiu)是(shi)打(da)標機激光(guang)(guang)(guang)掃(sao)描(miao)的準確性越高(gao)。現(xian)在(zai)紫(zi)外激光(guang)(guang)(guang)打(da)標機所(suo)面臨的挑戰很大，不僅僅加工(gong)的工(gong)件(jian)變得越來越小，人們對它的準確性和加工(gong)速度(du)(du)的要(yao)求也越高(gao)。那f-theta鏡在(zai)設計(ji)的時候，就(jiu)需要(yao)減少實際(ji)像(xiang)(xiang)高(gao)和理想像(xiang)(xiang)高(gao)的偏差。